第473章 里程碑时刻[1/2页]
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胡中玥之所以这么着急,是因为云枢科技在芯片方面取得了极大的进展。
nbsp几分钟前,ASM洁玥沪上研发中心爆发出了极大的欢呼声,他们一直在努力的,光刻机与钌互联工艺的匹配,完成了!
nbsp这就意味着,第一条90nm钌互联中试生产线可以很快完成建设,进入实际运行阶段了!
nbsp所谓中试线,就是介于实验室研发和大规模量产之间的工程化验证平台,能测试设备在真实环境中的运行情况,能进行小批量的晶圆生产,以便随时调整优化参数。
nbsp这不仅是华国半导体制造领域的关键里程碑,也是全世界半导体领域的重大突破。
nbsp用金属钌代替传统的铜,作为芯片内部的导线材料,电阻更低,在高电流下更稳定,芯片的能效和寿命也相应提高了,制造成本随之下降。
nbsp最重要的是,钌互联的专利捏在我们手里,他们想用,得拿其他我们需要的专利来换!
nbsp这次,华国不会再被国外卡脖子,我们和他们站在同样的位置,看谁跑得快!
nbsp而上个月,供应商那边也传来好消息,国产的钌专用抛光液也搞出来了!
nbsp目前最迫切,最要努力的,是氯气提纯的问题。
nbsp氯气是钌刻蚀环节所需要的核心反应气体,如果氯气不纯,会导致钌互联线短路,良率下跌。
nbsp但氯气提纯很不容易,主要是依赖低温精馏,以及吸附剂,对存储器的要求很高,必须要用特制的
第473章 里程碑时刻[1/2页]
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